在ｎ－ＧａＰ衬底上制作共面波导（ＣＰＷ），用质子轰击的方法减小共面波导的漏电损失，用倍频扫描移相电光采样技术测量了１－５ＧＨＺ微波信号，质子轰击后ＧａＰＣＰＷ的电阻增大了......